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    AFM在LED Chip表面缺陷的应用

    2016-04-25  浏览量:1410

    【摘要】本文顺利获得AFM的面扫描,以及高精度的尺寸测量功能,准确的分析LED Chip表面孔洞的尺寸和深度,为产品质量给予快捷有效的证据。

     

    【关键词】 LED,失效分析,AFM

     

    1. 引言

    该LED Chip在生产完成后,发现表面存在异常,后续用SEM观察到表面有孔洞缺陷,但SEM无法测试其深度,为帮助查找其缺陷形成的原因,需测量其孔洞深度及表面粗糙度。

     

    失效分析

    图1. 孔洞SEM观察图

     

    2. 试验与结果

     

    失效分析

    图2. 孔洞深度测试图

     

    失效分析

    图3. 正常位置粗糙度测试图

     

    失效分析

    图4. 异常位置粗糙度测试图

     

    3. 结论

    根据AFM测试结果,样品表面异常凹坑深度为16.2nm,异常区域粗糙度为0.2nm,正常区域粗糙度为0.106nm,孔洞处于异常位置的中间。

     

    *** 以上内容均为原创,如需转载,请注明出处 ***

     

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